SuperViewW臺式光學(xué)輪廓測量儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式,，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等等）,；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積,，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

產(chǎn)品特點

1,、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭,，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。

3,、聲波隔振防護

儀器外殼與內(nèi)部運動機構(gòu)采用了分離式設(shè)計,，有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)。

4,、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度,，提高3D圖像的重建精度,。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計,，集成了XYZ三軸位移和速度,、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕。

6,、真空吸附臺

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺,，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。

7,、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達亞納米級別,。

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺,，集成了圖像掃描、3D分析,、影像測量,、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列,、VT系列,、WT系列所有3D儀器機型，可自主識別機型種類,，二合一機型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式,。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能,，可針對微觀平面輪廓尺寸的點,、線間的距離、角度,、半徑等參數(shù)進行直接測量和自動匹配測量,。

自動化mark點識別坐標定位自動化功能

Mark點影像識別自動坐標位置校正，多區(qū)域坐標點自動定位測量與分析,，可組合式完成粗糙度,、輪廓尺寸的批量自動化測量。

自動拼接功能

支持方形,、圓形,、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能,，可自定義測量區(qū)域,，支持數(shù)千張圖像的無縫拼接測量。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW臺式光學(xué)輪廓測量儀可對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

部分技術(shù)指標

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。